Fcon C1005NC-4S2-100L-AR Mass Flow Controller (100SLM)

Dải lưu lượng: 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500SCCM; 1, 2, 3, 5SLM

Khí: Ar (Argon)

Loại van: NC: Thường đóng

Điều chỉnh lưu lượng: 5-100％ F.S

Độ chính xác: ±2％ F.S [±1％ F.S Tương thích]

Tín hiệu cài đặt: 0.25-5VDC

Tín hiệu đầu ra: 0-5VDC

Độ lặp: ±0.2％ FS

Phản hồi: ≦6s

Độ chênh áp: 50-300 kPa (C1020NC, 100～300kPa)

Chịu áp suất: 1MPa(G)

Nhiệt độ hoạt động: 5-50℃, ≦85％RH (đảm bảo độ chính xác tại 15-35℃)

Tính toàn vẹn rò rỉ: 1×10-7Pa･m3/giây He

Nguồn điện +15VDC: 60mA, -15VDC: 150mA

Giao tiếp: Analog: 0-5VDC

Vật liệu bề mặt ướt: SUS316L, PTFE, Cao su Fluoro

Vật liệu bịt kín: Cao su Fluoro

Hệ thống truyền động: Nhiệt

Ống nối tiêu chuẩn: 1/4in.SWL

Phụ kiện: HDSD, Phiếu bảo hành

Datasheet